製品紹介

XSK5GTモジュール を備えている。 ステンレスベルト防塵構造 医療機器や電子機器製造に不可欠なIP54の防滴性を実現。繰り返し精度±0.01mm、最高速度500mm/sec（10mmリード）で、以下をサポートします。 100Wサーボモーター 三菱製（HG-KR13）、パナソニック製（MSMD012G1U）、デルタ製。用途としては、コンタミネーションコントロールが最も重要な半導体ウェハー切断や光学部品彫刻が挙げられる。

製品の特徴

線路構造は有限要素法レール解析によって解析され、最良の剛性と品質が得られる。

• • > 小型、軽量、設置・メンテナンスが容易
  • > 高剛性、高精度、高荷重、高信頼性
  • > 高い耐摩耗性、長寿命
  • > 防塵・防滴構造のステンレス製。

 

製品パラメーター

100Wサーボモータ搭載XSK5GT パラメータリスト

>XSK5GTパラメーター

>設定・基本パラメータ表（単位：mm）

>センサーの配線図＜始点と終点

>許容荷重モーメント表（単位：mm）

>静的許容負荷イナーシャ

>対応サーボモータ一覧